8月11日,據(jù)南通日報消息,落戶于江蘇省南通市啟東市啟東經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的江蘇晶工半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(以下簡稱:江蘇晶工)正式向園區(qū)提交了建設(shè)30畝生產(chǎn)基地的申請。據(jù)報道,江蘇晶工計劃通過擴大生產(chǎn)規(guī)模,進一步提升晶圓倒角機等核心產(chǎn)品的產(chǎn)能與品質(zhì),滿足國內(nèi)外市場對高端半導(dǎo)體設(shè)備日益增長的需求。官網(wǎng)資料顯示,江蘇晶工致力于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和制造,現(xiàn)已自主研制出4-8英寸和12英寸的全自動倒角機、全自動晶圓單片清洗機、全自動晶圓刷洗機、全自動上蠟機和輪廓儀等。
在大硅片領(lǐng)域,江蘇晶工已成功推出12英寸晶圓倒角設(shè)備和技術(shù)方案,有效解決了大尺寸硅片加工難題。同時,在第三代半導(dǎo)體材料碳化硅領(lǐng)域,江蘇晶工專注于為6英寸、8英寸及非標(biāo)準(zhǔn)直徑尺寸的碳化硅襯底提供倒角、清洗設(shè)備及配套工藝。
目前,江蘇晶工通過與山東大學(xué)等開展產(chǎn)學(xué)研合作,已申請產(chǎn)品相關(guān)專利19項,已獲得授權(quán)發(fā)明專利1項,實用新型專利4項,研發(fā)的12英寸全自動倒角機MET-5800,打破國內(nèi)大硅片倒角機進口壟斷的局面,全自動倒角機MET-5600成功替代日本進口的倒角機。市場方面,江蘇晶工已與歐洲知名襯底廠家簽訂全自動晶圓倒角機的合同,標(biāo)志著江蘇晶工產(chǎn)品開始走出國門。
來源:半導(dǎo)體信息