近日，上海漢虹精密機(jī)械有限公司（下文簡稱上海漢虹）在拉晶實(shí)驗(yàn)室中，使用自行研發(fā)制造的碳化硅長晶爐成功拉制出高品質(zhì)8英寸碳化硅晶體，此晶體具備優(yōu)良的均勻性和低缺陷密度，直徑達(dá)到200毫米標(biāo)準(zhǔn)，電阻率和晶向均符合高端應(yīng)用要求，展現(xiàn)了漢虹出色的設(shè)備研發(fā)制造能力與工藝控制水平。 

上海漢虹作為一家專注于半導(dǎo)體材料晶體生產(chǎn)&加工設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè)，多年來深耕于半導(dǎo)體材料相關(guān)設(shè)備的研究與創(chuàng)新。本次采用的碳化硅長晶爐，采用上進(jìn)料方式，完全自動(dòng)化控制，而且通過熱場旋轉(zhuǎn)及熱場工藝穩(wěn)定性設(shè)計(jì)，能夠有效調(diào)整徑向和軸向溫度梯度，確保晶體生長過程中溫度的均勻性和穩(wěn)定性。 

此外，上海漢虹自主研發(fā)的異地網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程監(jiān)控操作系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了長晶過程的全自動(dòng)控制。這套系統(tǒng)具備分級(jí)權(quán)限管理功能，便于工藝參數(shù)的精準(zhǔn)控制，并支持遠(yuǎn)程操作，使得無人值守成為可能，大大提升了生產(chǎn)效率和安全性。 

隨著新能源汽車、5G通訊等新興產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，對(duì)于高性能碳化硅器件的需求日益增加。然而，長期以來，高品質(zhì)大尺寸碳化硅晶圓的供應(yīng)不足一直是制約行業(yè)發(fā)展的一大瓶頸。上海漢虹此次的成功，為未來碳化硅器件的大規(guī)模商業(yè)化應(yīng)用提供了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。 

上海漢虹通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新，在8英寸碳化硅長晶爐的研發(fā)制造與生產(chǎn)應(yīng)用上取得了顯著成就。這是上海漢虹發(fā)展歷程中的一個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，也體現(xiàn)了中國半導(dǎo)體材料設(shè)備產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步。我們期待與更多合作伙伴一起，共同推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。

來源：上海漢虹