9月8日,北方華創(chuàng)在互動(dòng)平臺(tái)表示,隨著近年來(lái)國(guó)內(nèi)零部件供應(yīng)商能力快速提升,公司國(guó)內(nèi)采購(gòu)比例也逐年增加,公司自研的射頻電源已經(jīng)批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品上。
據(jù)悉,北方華創(chuàng)產(chǎn)品線不斷創(chuàng)新和完善,平臺(tái)化布局加速發(fā)展。公司成功研發(fā)出高密度等離子體化學(xué)氣相沉積(HDPCVD)、雙大馬士革CCP 刻蝕機(jī)、立式爐原子層沉積(ALD)、高介電常數(shù)原子層沉積(ALD)等多款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端設(shè)備,并在多家客戶端實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)。
同時(shí),公司在先進(jìn)封裝領(lǐng)域進(jìn)行了全面布局,可提供TSV(硅通孔)制造、正面制程-大馬士革工藝、背面制程-露銅刻蝕和RDL(再布線層)工藝的全面解決方案,涉及刻蝕、薄膜、爐管、清洗四大類二十余款裝備工藝解決方案。