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浙江奧首材料科技申請一種用于半導(dǎo)體化合物光刻膠的剝離液專利,減少剝離液中的腐蝕

日期:2024-09-19 閱讀:247
核心提示:天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,浙江奧首材料科技有限公司申請一項名為一種用于半導(dǎo)體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途,公開號

天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,浙江奧首材料科技有限公司申請一項名為“一種用于半導(dǎo)體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途“,公開號 CN202410880916.4,申請日期為 2024 年 7 月。

專利摘要顯示,本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途。所述的光刻膠的剝離液,按照重量份計算,包括如下組分:有機(jī)胺 1020 份;潤濕劑 1030 份;有機(jī)溶劑 5080 份;緩蝕劑 0.21 份。本發(fā)明采用了復(fù)合緩蝕劑體系,其中的巰基可以較好的吸附在砷化鎵表面,形成較好的保護(hù)層,同時可以對蝕刻液中游離的砷離子進(jìn)行螯合,進(jìn)一步減少腐蝕;同時氮唑類的緩蝕劑可以吸附在鎵離子上,在表面形成互補的保護(hù)層,進(jìn)而減少了剝離液中的腐蝕。采用復(fù)合極性有機(jī)溶劑體系,能夠提高各物質(zhì)的溶解性的同時,提高溶解在剝離液中的光刻膠的分散性。

 

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