天眼查顯示，深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司“光束整形系統(tǒng)”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2024年9月17日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118655710A。

本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了光束整形系統(tǒng)，用于以較低成本將光源發(fā)出的光束整形為均勻性較高且線寬較窄的線光斑。本申請(qǐng)實(shí)施例包括：光源，用于發(fā)出初始光束；第一自由曲面鏡，用于使所述初始光束中的能量均勻分布；第二自由曲面鏡，用于調(diào)整從所述第一自由曲面鏡出射的初始光束在第一軸向的尺寸，并使調(diào)整后的初始光束照射至待測(cè)表面形成線光斑，所述第一軸向與所述初始光束的光軸垂直或平行；其中，所述初始光束在第二軸向的尺寸由所述第一自由曲面鏡調(diào)整或者由所述第二自由曲面鏡調(diào)整，所述第一軸向與所述第二軸向垂直。