國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種氧化鎵單晶襯底拋光片的劃片保護(hù)層結(jié)構(gòu)及其劃片方法”的專(zhuān)利，公開(kāi)號(hào)CN 118752386 A，申請(qǐng)日期為2024年8月。

專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種氧化鎵單晶襯底拋光片的劃片保護(hù)層結(jié)構(gòu)及其劃片方法，屬于氧化鎵單晶襯底拋光片加工技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的劃片保護(hù)層結(jié)構(gòu)由下到上依次包括層疊設(shè)置的斜坡夾具、載臺(tái)、第二軟質(zhì)保護(hù)層、氧化鎵Wafer、第一軟質(zhì)保護(hù)層和硬質(zhì)保護(hù)層，所述斜坡夾具保證沿氧化鎵Wafer(010)晶面方向的切割道呈斜坡角度切割。本發(fā)明中，第一軟質(zhì)保護(hù)層和第二軟質(zhì)保護(hù)層的作用是避免拋光Wafer的表面免受硬物劃傷和冷卻介質(zhì)污染，硬質(zhì)保護(hù)層的作用是抵消一部分劃片過(guò)程中砂輪對(duì)(100)易解理晶面的法向作用力；斜坡夾具會(huì)進(jìn)一步分解砂輪施加給(100)晶面的法向作用力，從而減少切割道周邊Wafer解理、崩裂和微裂紋等缺陷的產(chǎn)生。本發(fā)明的劃片方法切割速度快，可以實(shí)現(xiàn)拋光Wafer直接進(jìn)行劃片，且不產(chǎn)生Wafer表面的劃傷和污染等缺陷。