國家知識產(chǎn)權局信息顯示,聯(lián)華電子股份有限公司申請一項名為“半導體結構以及其形成方法”的專利,公開號CN 118900619 A,申請日期為2023年5月。
專利摘要顯示,本發(fā)明提供一種半導體結構以及其形成方法,其中該半導體結構包含多個MTJ(Magnetic tunnel junctions,磁性隧穿結) 元件,從一俯視圖來看,多個MTJ元件排列成一陣列,至少一第二接觸結構,位于MTJ元件所排成的陣列之中,至少一第一掩模層,覆蓋于各MTJ元件的一頂面與兩側壁,其中從一剖面圖來看,第一掩模層的一斷面?zhèn)缺谂c第二接觸結構下方的一第二金屬層的一側壁切齊。