半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)訊:據(jù)“鎵仁半導(dǎo)體”公號消息,2024年12月,杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司(以下簡稱“鎵仁半導(dǎo)體”)在超寬禁帶半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得重大突破。公司與下游客戶攜手,對鎵仁半導(dǎo)體(010)面氧化鎵半絕緣襯底進行了深入的器件驗證工作。成功制備了性能卓越的增強型晶體管,其擊穿電壓高達(dá)2429V,相較于進口襯底的器件驗證結(jié)果,性能指標(biāo)實現(xiàn)了顯著提升。這一成就不僅展現(xiàn)了鎵仁半導(dǎo)體在氧化鎵襯底技術(shù)方面的領(lǐng)先地位,也為國產(chǎn)氧化鎵襯底在功率器件量產(chǎn)應(yīng)用的道路上,奠定了堅實的基礎(chǔ)。
擊穿曲線
性能參數(shù)領(lǐng)先
在氧化鎵單晶襯底常見的主流晶面中,(010)晶面具有獨特的物理特性,使其在外延與器件方面具有出色的表現(xiàn)。首先,(010)襯底熱導(dǎo)率最高,有利于增強器件散熱,提升功率器件性能;其次,(010)襯底具有較快的外延生長速率,提升外延效率。
基于鎵仁半導(dǎo)體提供的(010)面氧化鎵半絕緣襯底,下游器件客戶實現(xiàn)了開關(guān)比大于10的7次方,擊穿電壓高達(dá)2429V的增強型晶體管,器件柵漏間距30 μm,柵寬3 μm,關(guān)態(tài)漏電~10-7mA/mm,在同等條件下,鎵仁襯底的器件指標(biāo)顯著優(yōu)于進口襯底的器件驗證結(jié)果(2080V)。
轉(zhuǎn)移曲線
輸出曲線
技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)突破
鎵仁半導(dǎo)體的這一進展得益于其在氧化鎵單晶生長技術(shù)上的不斷創(chuàng)新。
2024年3月,公司采用楊德仁院士團隊自主開創(chuàng)的鑄造法,成功制備了6英寸高質(zhì)量氧化鎵單晶襯底。
2024年4月,鎵仁半導(dǎo)體推出了2英寸晶圓級(010)氧化鎵半絕緣單晶襯底,并實現(xiàn)了自主量產(chǎn),成為全球唯一的晶圓級(010)氧化鎵襯底供應(yīng)商。
2024年9月,公司又推出了首臺國產(chǎn)氧化鎵專用VB法長晶設(shè)備,填補了國內(nèi)技術(shù)空白,進一步助力國產(chǎn)氧化鎵材料行業(yè)的發(fā)展。
國際競爭中的新優(yōu)勢
面對日益嚴(yán)峻的國際形勢,尤其是氧化鎵材料禁運政策的挑戰(zhàn),鎵仁半導(dǎo)體的技術(shù)突破顯得尤為重要。此次下游客戶在鎵仁半導(dǎo)體襯底上實現(xiàn)的器件性能超越了進口產(chǎn)品,進一步證明了鎵仁半導(dǎo)體材料技術(shù)的競爭力,公司的創(chuàng)新成果不僅助力國內(nèi)產(chǎn)業(yè)打破國際壟斷,還推動了行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。
總結(jié)與展望
杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司的這一技術(shù)突破,不僅展示了中國在第四代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的強大實力,也為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)了中國智慧。隨著技術(shù)的不斷進步和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的加速,鎵仁半導(dǎo)體有望在未來的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中扮演更加重要的角色。