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中微公司發(fā)明專利再獲中國專利獎殊榮

日期:2025-01-09 閱讀:261
核心提示:2025年1月9日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱中微公司,上交所股票代碼:688012)和南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

 2025年1月9日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)和南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司共同擁有的發(fā)明專利“一種化學(xué)氣相沉積裝置及其清潔方法”(專利號:ZL201510218357.1)榮獲第二十五屆中國專利獎銀獎。 

中國專利獎是我國專利領(lǐng)域的最高榮譽(yù),由國家知識產(chǎn)權(quán)局和世界知識產(chǎn)權(quán)組織聯(lián)合主辦,旨在鼓勵和表彰專利權(quán)人和發(fā)明人對技術(shù)創(chuàng)新及經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展所作出的突出貢獻(xiàn)。至此,中微公司已榮獲中國專利獎2項金獎、1項銀獎和3項優(yōu)秀獎,這標(biāo)志著中微公司在技術(shù)創(chuàng)新和知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)方面所取得的卓越成就。 

本次獲獎的發(fā)明專利是中微公司MOCVD設(shè)備產(chǎn)品的基礎(chǔ)核心專利。MOCVD設(shè)備是寬禁帶半導(dǎo)體各種微觀器件制造的最關(guān)鍵設(shè)備,采用單晶外延生長技術(shù)生產(chǎn)LED芯片、功率器件以及其它第三代半導(dǎo)體器件,具有廣闊的應(yīng)用前景。中微公司的MOCVD設(shè)備在業(yè)界享有盛譽(yù),其氮化鎵基LED生產(chǎn)用MOCVD設(shè)備的市場占有率在過去幾年內(nèi)躍居全球第一,市場占有率超過70%。 

本次獲獎專利從反應(yīng)腔內(nèi)流體動力學(xué)和氣流分布的角度提供了一種構(gòu)思新穎、巧妙的設(shè)計,使反應(yīng)氣體排氣與反應(yīng)副產(chǎn)物沉積物的收集、存儲相互分離,避免了固體沉積物對排氣口的堵塞,巧妙解決了MOCVD設(shè)備領(lǐng)域一直困擾的排氣不均勻、工藝良率低、維護(hù)頻繁和生產(chǎn)效率低等業(yè)界難題。這一突破性的技術(shù),為客戶提供了更可靠、更高效的生產(chǎn)解決方案,有力推動了MOCVD設(shè)備的技術(shù)進(jìn)步,促進(jìn)了LED照明與顯示產(chǎn)業(yè)的新發(fā)展。這一創(chuàng)新成果進(jìn)一步鞏固了中微公司在MOCVD設(shè)備市場的領(lǐng)先地位,也為國家節(jié)能減排、降低能耗作出了巨大貢獻(xiàn)。 

“中微公司連續(xù)斬獲中國專利獎,彰顯了中微公司在研發(fā)創(chuàng)新和知識產(chǎn)權(quán)管理方面的領(lǐng)先地位。”中微公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士表示,“創(chuàng)新是中微公司發(fā)展的核心驅(qū)動力。中微公司將始終秉承技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品差異化和知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)的產(chǎn)品開發(fā)原則,強(qiáng)化研發(fā)投入,不斷突破技術(shù)瓶頸,為客戶提供更具創(chuàng)新性和卓越品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)更大的力量。” 

(來源:中微公司)

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