11月4日，晶盛機(jī)電年產(chǎn)25萬(wàn)片6英寸、5萬(wàn)片8英寸碳化硅襯底片項(xiàng)目簽約啟動(dòng)。

晶盛機(jī)電消息稱，該項(xiàng)目總投資21.2億元。建成后，晶盛機(jī)電將利用自身的技術(shù)和資源優(yōu)勢(shì)，加快碳化硅襯底片的關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)業(yè)化，加速推進(jìn)第三代半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

2017年，晶盛機(jī)電開始碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備和工藝的研發(fā)，相繼成功開發(fā)6英寸、8英寸碳化硅晶體和襯底片，目前已建設(shè)6-8 英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)、切片、拋光中試線，6英寸襯底片已通過(guò)多家下游企業(yè)驗(yàn)證，正處于快速上量階段，8英寸襯底片處于小批量試制階段。