“化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一條全新賽道，有巨大的想象空間。”上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司CTO梁潔說(shuō)，只要付出努力，就會(huì)有回報(bào)。“發(fā)展化合物半導(dǎo)體是提升產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)能力、建立未來(lái)戰(zhàn)略優(yōu)勢(shì)的關(guān)鍵所在。”寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)始人汪鋼說(shuō)，具有巨大想象空間的化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，將給材料、裝備等行業(yè)帶來(lái)巨大的市場(chǎng)增長(zhǎng)空間。

2024年4月8日至11日，國(guó)內(nèi)化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域規(guī)模最大、規(guī)格最高的標(biāo)桿性展會(huì)——2024九峰山論壇暨中國(guó)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)將在武漢光谷舉行。

多位即將參會(huì)、參展的科研界、產(chǎn)業(yè)界代表在接受長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)表達(dá)了對(duì)化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的信心，以及對(duì)即將到來(lái)的論壇的期待，“在這里，我們既能了解現(xiàn)在，又能看見(jiàn)未來(lái)”。

化合物半導(dǎo)體有巨大的想象空間

近年來(lái)，伴隨著硅半導(dǎo)體材料主導(dǎo)的摩爾定律逐漸走向其物理極限，同時(shí)硅也滿足不了無(wú)線通信、高功率電子和光電子等新需求快速發(fā)展的需要，以砷化鎵（GaAs）、氮化鎵（GaN）、碳化硅（SiC）等為代表的化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為典型的新興產(chǎn)業(yè)，正處在產(chǎn)業(yè)快速上升期。

SPTS是一家總部位于英國(guó)的蝕刻和沉淀工藝解決方案及設(shè)備供應(yīng)商，向全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備制造商和研究機(jī)構(gòu)提供先進(jìn)的晶圓加工解決方案，在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域處于引領(lǐng)者位置。“新時(shí)期發(fā)展化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。”公司中國(guó)區(qū)銷售負(fù)責(zé)人易義軍說(shuō)。

SPTS在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域處于引領(lǐng)者位置。企業(yè)供圖

在他看來(lái)，化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相對(duì)而言投資規(guī)模小、市場(chǎng)前景好、具備“換道超車”的機(jī)會(huì)，尤其是對(duì)新能源汽車、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖通信網(wǎng)絡(luò)以及5G通信等新興市場(chǎng)有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。

“相比傳統(tǒng)的硅基半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體本身的特性決定了它將具有巨大的想象空間，硅基半導(dǎo)體做不到的，化合物半導(dǎo)體有可能做到。”梁潔介紹，化合物半導(dǎo)體的快速發(fā)展對(duì)設(shè)備和工藝提出了新的挑戰(zhàn)，“有想象空間，有挑戰(zhàn)，不受限，這就是我們發(fā)力化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的原因所在”。

據(jù)介紹，致力于為集成電路及泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高性價(jià)比的半導(dǎo)體設(shè)備，邦芯半導(dǎo)體專注于第三代化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，研發(fā)了眾多擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，如6/8寸刻蝕機(jī)和6/8寸鎢薄膜沉積設(shè)備，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)諸多領(lǐng)域空白。

2016年成立的全芯微電子同樣是一家半導(dǎo)體裝備及工藝方案提供商，推出了勻膠顯影機(jī)、去膠剝離機(jī)、刻蝕清洗機(jī)等一系列高端半導(dǎo)體裝備。在汪鋼看來(lái)，化合物半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展背后，離不開(kāi)更多設(shè)備的升級(jí)迭代與技術(shù)創(chuàng)新，“與之相關(guān)的行業(yè)都將擴(kuò)大增長(zhǎng)空間”。

“始終聚焦新型電子器件制造領(lǐng)域，持續(xù)提供有競(jìng)爭(zhēng)力的工藝方案和設(shè)備支撐，與上下游企業(yè)一同為化合物產(chǎn)業(yè)發(fā)展助力。”汪鋼說(shuō)。

光谷化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)加速形成

當(dāng)前，光谷一批化合物半導(dǎo)體項(xiàng)目加快突破。

先導(dǎo)科技集團(tuán)高端化合物半導(dǎo)體材料及芯片產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目近日簽約落地光谷。公司董事長(zhǎng)朱世會(huì)說(shuō)，將加大與武漢高校院所科研合作，推動(dòng)半導(dǎo)體材料研發(fā)不斷取得新突破。

光谷科學(xué)島上，總投資200億元的長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地正加快建設(shè)，項(xiàng)目一期預(yù)計(jì)今年7月封頂，建成后可年產(chǎn)36萬(wàn)片6英寸碳化硅晶圓及外延。

光谷“強(qiáng)引力”背后，完整的產(chǎn)業(yè)生態(tài)和強(qiáng)大的研發(fā)能力是支撐。作為國(guó)內(nèi)四大集成電路產(chǎn)業(yè)基地之一，光谷已聚集一批集成電路產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)，形成了存儲(chǔ)芯片、化合物半導(dǎo)體芯片為兩大產(chǎn)業(yè)方向，涵蓋設(shè)計(jì)、制造、裝備、材料及分銷、模組等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)的產(chǎn)業(yè)集群。。

采訪中，記者了解到不少企業(yè)都已與湖北九峰山實(shí)驗(yàn)室建立合作關(guān)系。作為湖北省十大實(shí)驗(yàn)室之一，2021年成立的九峰山實(shí)驗(yàn)室聚焦化合物半導(dǎo)體的研發(fā)與創(chuàng)新，已建成全球化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最先進(jìn)、規(guī)模最大的科研及中試平臺(tái)。

“和九峰山實(shí)驗(yàn)室合作很多年，你中有我，我中有你。”梁潔介紹，作為半導(dǎo)體設(shè)備提供商，邦芯半導(dǎo)體為九峰山實(shí)驗(yàn)室提供了多款先進(jìn)的加工設(shè)備，與此同時(shí)，邦芯半導(dǎo)體生產(chǎn)的設(shè)備也在九峰山實(shí)驗(yàn)室完成了檢測(cè)和驗(yàn)證并得以進(jìn)一步改進(jìn)，“我們不是甲乙方的關(guān)系，而是合作伙伴，共贏關(guān)系”。

作為封裝設(shè)備國(guó)產(chǎn)原廠，南京屹立芯創(chuàng)半導(dǎo)體科技有限公司除泡品類全線設(shè)備對(duì)化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用領(lǐng)域適用非常廣泛，能大幅提升產(chǎn)品穩(wěn)定性及良率問(wèn)題。目前，該公司與九峰山實(shí)驗(yàn)室達(dá)成濾波器產(chǎn)品領(lǐng)域的合作，晶圓級(jí)貼壓膜系統(tǒng)創(chuàng)新的真空下貼膜和自主開(kāi)發(fā)的加熱軟墊氣囊式壓合技術(shù)，有效解決因預(yù)貼膜在真空壓膜過(guò)程中產(chǎn)生氣泡或是干膜填覆率不佳的問(wèn)題。

屹立芯創(chuàng)除泡品類全線設(shè)備對(duì)化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用領(lǐng)域適用非常廣泛。企業(yè)供圖

“九峰山實(shí)驗(yàn)室作為高規(guī)格新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，發(fā)展迅速，影響力深遠(yuǎn)。”屹立芯創(chuàng)相關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)，作為國(guó)產(chǎn)設(shè)備原廠，和九峰山實(shí)驗(yàn)室的合作也能凸顯“為中國(guó)芯，造屹立器”的企業(yè)使命。

“九峰山實(shí)驗(yàn)室是SPTS在中國(guó)化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域重要的戰(zhàn)略合作伙伴。”易義軍介紹，SPTS與九峰山實(shí)驗(yàn)室在多個(gè)化合物半導(dǎo)體項(xiàng)目上有著全面深入的合作，“九峰山實(shí)驗(yàn)室先進(jìn)開(kāi)放的中試平臺(tái)，構(gòu)建了化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游緊密合作的聯(lián)合體，解決了眾多高校和企業(yè)在產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中的諸多堵點(diǎn)、斷點(diǎn)和難點(diǎn)，將加速產(chǎn)品和創(chuàng)新成果落地”。

伴隨著越來(lái)越多企業(yè)的到來(lái)，光谷化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)正在加速形成。目前，以九峰山實(shí)驗(yàn)室為核心的九峰山科技園正在加快推進(jìn)，園區(qū)內(nèi)，投資50億元的化合物半導(dǎo)體孵化加速及制造基地計(jì)劃在明年投入使用，力爭(zhēng)3年內(nèi)引育企業(yè)100家。

九峰山論壇有著多方面、多維度的意義

據(jù)了解，2024九峰山論壇采取“1主+8專+多場(chǎng)行業(yè)專題會(huì)+多場(chǎng)展邊會(huì)”模式，將由10多位國(guó)內(nèi)外院士領(lǐng)銜出席，圍繞化合物半導(dǎo)體關(guān)鍵材料、化合物半導(dǎo)體核心裝備、EDA工具與生態(tài)鏈、光電子技術(shù)、功率電子技術(shù)、無(wú)線電子技術(shù)、先進(jìn)半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)與標(biāo)準(zhǔn)、化合物半導(dǎo)體投融資趨勢(shì)等方向，共計(jì)150余位嘉賓分享行業(yè)報(bào)告，全面覆蓋產(chǎn)業(yè)發(fā)展前沿?zé)狳c(diǎn)。

“我們希望能在論壇中和多方生態(tài)鏈企業(yè)交流先進(jìn)技術(shù)，提升設(shè)備化合物半導(dǎo)體針對(duì)性解決方案，打造標(biāo)桿案例。”屹立芯創(chuàng)相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。

繼首屆九峰山論壇之后，梁潔將再度參加今年的盛會(huì)。去年，他趁在分論壇做分享嘉賓的空隙，專程到主論壇聽(tīng)其他嘉賓的演講，“九峰山論壇既有產(chǎn)業(yè)界的嘉賓，也有來(lái)自學(xué)術(shù)界的，產(chǎn)業(yè)界談的是現(xiàn)在，學(xué)術(shù)界講的是未來(lái)，對(duì)行業(yè)發(fā)展有很大的指導(dǎo)意義，讓我們更清楚第三代半導(dǎo)體的發(fā)展方向”。

首屆九峰山論壇人氣火爆。九峰山實(shí)驗(yàn)室供圖

去年的論壇上，梁潔認(rèn)識(shí)了來(lái)自全國(guó)各地的許多優(yōu)秀供應(yīng)商，并與其中的一家武漢供應(yīng)商達(dá)成了合作。“既提供了交流的平臺(tái)，又搭建了合作的橋梁，這場(chǎng)論壇有著多方面、多維度的意義。”他感慨。

本次九峰山論壇首次采用“展+會(huì)”的模式，論壇舉行的同時(shí)還將在光谷科技會(huì)展中心舉辦中國(guó)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)。除中國(guó)本土廠商以外，來(lái)自歐美等10多個(gè)國(guó)家的15家國(guó)際頂級(jí)企業(yè)參展。眾多國(guó)際龍頭企業(yè)齊聚中國(guó)展示最新技術(shù)與產(chǎn)品，在全球化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)也是首次。

作為九峰山實(shí)驗(yàn)室重要的設(shè)備供應(yīng)商，SPTS將在九峰山期間展示其在化合物半導(dǎo)體等應(yīng)用領(lǐng)域的最新產(chǎn)品和工藝解決方案。“希望通過(guò)本次論壇加強(qiáng)與化合物半導(dǎo)體行業(yè)客戶之間的溝通與合作，共同探索發(fā)展新機(jī)遇，為公司未來(lái)發(fā)展注入新的動(dòng)力。”易義軍說(shuō)。

汪鋼受邀在九峰山論壇分享的同時(shí)，還將攜帶公司最新推出的單片式清洗機(jī)參展，這也是他第二次參加九峰山論壇。“相互交流學(xué)習(xí)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)上下游協(xié)同發(fā)展。”他期待未來(lái)的九峰山論壇發(fā)展為全球最大的化合物半導(dǎo)體標(biāo)桿性展會(huì)之一，吸引更多的海外客戶參展，“目前很多第三代半導(dǎo)體還是依賴海外設(shè)備制造，希望有越來(lái)越多這樣的盛會(huì)，讓更多人看到中國(guó)化合物半導(dǎo)體廠商的身影”。

“融合創(chuàng)新，聚力共贏，共同推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展，為世界科技的發(fā)展作出更大的貢獻(xiàn)。”恰如愛(ài)發(fā)科（蘇州）技術(shù)研究開(kāi)發(fā)有限公司董事總經(jīng)理?xiàng)畋谕?，一座化合物半?dǎo)體的創(chuàng)新燈塔正在武漢點(diǎn)亮，燃遍全國(guó)、走向世界。

（來(lái)源：長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)）