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英諾激光：公司已實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)碳化硅退火制程的激光器

評(píng)論 ? 2024-09-11 12:00

中欣晶圓“12寸退火片的制造方法”專利公布

評(píng)論 ? 2024-07-19 11:31

山東大學(xué)碳化硅高溫退火爐采購(gòu)公開(kāi)招標(biāo)公告

評(píng)論 ? 2024-01-17 10:10

瑤光半導(dǎo)體首批激光退火設(shè)備下線并交付

評(píng)論 ? 2023-10-10 11:57

瑤光半導(dǎo)體1期工廠投入運(yùn)營(yíng)，國(guó)內(nèi)率先量產(chǎn)SiC激光退火設(shè)備

評(píng)論 ? 2023-08-24 15:07

炬光科技：公司為上海微電子裝備等集成電路芯片設(shè)備集成商提供半導(dǎo)體激光退火系統(tǒng)及及核心元器件

炬光科技上海微電子裝備集成電路芯片設(shè)備集成商半導(dǎo)體激光退火元器件

評(píng)論 ? 2022-01-18 08:41

激光退火

大連理工大學(xué)王德君教授：SiC MOS器件氧化后退火新途徑--低溫再氧化退火技術(shù)

大連理工大學(xué)王德君教授 SiC MOS器件氧化后退火低溫再氧化退火技術(shù)

評(píng)論 ? 2021-12-10 09:28

退火

退火技術(shù)

英諾激光：目前公司產(chǎn)品在芯片制造領(lǐng)域的應(yīng)用為晶圓加工缺陷檢測(cè)、碳化硅退火等制造工序

英諾激光芯片制造晶圓加工缺陷檢測(cè)碳化硅退火等制造工序

評(píng)論 ? 2021-07-26 10:54

退火等

中科院蘇州納米所張璇：二次注入和活化退火提高室溫鋁注入劑量

評(píng)論 ? 2020-12-09 16:22

電子科技大學(xué)劉成藝：n型4H-SiC上Ti/TiN/Pt歐姆接觸電極在空氣中高溫退火處理的失效機(jī)理研究

評(píng)論 ? 2020-12-03 17:58