上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司（以下簡稱“公司”）自立項(xiàng)開發(fā) 193nm ArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以來，安排購買了ASML-1400光刻機(jī)等核心設(shè)備，并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請(qǐng)向特定對(duì)象發(fā)行股票的審核問詢函的回復(fù)》中披露，該光刻機(jī)將于 2020 年底前運(yùn)抵國內(nèi)。后由于公司與光刻機(jī)供應(yīng)商、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協(xié)調(diào)設(shè)備運(yùn)輸與安裝等細(xì)節(jié)，致使設(shè)備沒能在規(guī)定時(shí)間內(nèi)運(yùn)達(dá)，但與合作方就具體合作細(xì)節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》，并發(fā)布了《關(guān)于ASML-1400光刻機(jī)進(jìn)展暨簽訂<合作框架協(xié)議>的公告》，預(yù)計(jì)該光刻機(jī)將于2021 年 3 月底前進(jìn)入合作方現(xiàn)場，詳見公司于2021年1月5日發(fā)布的相關(guān)公告。

 

現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作，該光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。