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清華大學(xué)化學(xué)系團(tuán)隊(duì)合作開發(fā)出理想的極紫外（EUV）光刻膠材料

國內(nèi)首條百噸級半導(dǎo)體KrF光刻膠樹脂雙產(chǎn)線建成

國產(chǎn)高端光刻膠材料研發(fā)商東凱芯半導(dǎo)體完成A輪融資

上海新陽：目前建成光刻膠產(chǎn)能100噸，KrF光刻膠多款產(chǎn)品批量銷售

復(fù)旦大學(xué)先進(jìn)光刻膠材料教育部工程研究中心正式成立

杭華股份擬收購浙江迪克60%股權(quán) 強(qiáng)化顯示光刻膠領(lǐng)域布局

山東發(fā)布新材料產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新行動計(jì)劃，第三代半導(dǎo)體材料、光刻膠等被劃重點(diǎn)

深圳晶源申請光刻膠模型優(yōu)化方法專利，能夠解決模型中存在的過擬合現(xiàn)象和一致性不佳的技術(shù)問題

國產(chǎn)半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破，已通過量產(chǎn)驗(yàn)證！

浙江奧首材料科技申請一種用于半導(dǎo)體化合物光刻膠的剝離液專利，減少剝離液中的腐蝕

智芯微“光刻膠均勻覆蓋晶圓表面的仿真方法”專利公布

福建泓光半導(dǎo)體材料取得一種光刻膠自動過濾裝置專利，提高工作效率

光谷實(shí)驗(yàn)室研發(fā)出高性能量子點(diǎn)光刻膠

湃邦半導(dǎo)體光刻膠項(xiàng)目在海寧投產(chǎn)！

復(fù)旦大學(xué)研發(fā)半導(dǎo)體性光刻膠，實(shí)現(xiàn)特大規(guī)模集成度有機(jī)芯片制造

容大感光擬募資2.45億元建設(shè)高端感光線路干膜光刻膠項(xiàng)目

微芯新材料年產(chǎn)千噸電子級光刻膠原材料項(xiàng)目動工

芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開工

九峰山實(shí)驗(yàn)室+華中科大聯(lián)合攻關(guān)，一種新型光刻膠技術(shù)完成初步工藝驗(yàn)證

迪道微電子完成新一輪數(shù)千萬元融資，專注光刻膠產(chǎn)品研發(fā)

瑞紅蘇州集成電路用高端光刻膠總部項(xiàng)目簽約總投資15億

國投證券：高端半導(dǎo)體光刻膠國產(chǎn)化需求迫切

鼎龍股份投建光刻膠項(xiàng)目

全球首顆！我國芯片領(lǐng)域取得重大突破！

半導(dǎo)體光刻膠單體及樹脂供應(yīng)商微芯新材完成超億元C輪融資

瑞聯(lián)新材擬4.91億元投建光刻膠及高端新材料產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目

年產(chǎn)千噸電子級光刻膠原材料，微芯新材生產(chǎn)基地簽約湖州

機(jī)構(gòu)：明年全球光刻膠市場將增7%，達(dá)25.7億美元

日本投資公司JIC商談收購光刻膠巨頭JSR

光刻膠企業(yè)阜陽欣奕華完成超5億元D輪融資

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