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九奕半導體設(shè)備取得光刻機送料機構(gòu)專利，使硅片涂布更均勻

中芯微取得半導體生產(chǎn)制造用光刻機專利，可實現(xiàn)移動目的

大族安萊微米級光刻機項目開工

粵芯半導體申請光刻機對準方法專利，平衡晶圓中切割道與芯片的研磨速率

中芯國際申請光刻機焦距監(jiān)控相關(guān)專利，實現(xiàn)在線焦距監(jiān)控且對產(chǎn)品晶圓圖形影響小

尼康官宣旗下首款半導體后端工藝用光刻機

工信部推廣國產(chǎn)DUV光刻機，最小套刻精度≤8nm

冠石半導體入場首臺先進電子束掩模版光刻機

三井化學將量產(chǎn)光刻薄膜新品，支持ASML下一代光刻機

光刻機制造商ASML擴建計劃獲表決通過

俄羅斯首臺光刻機制造完成：可生產(chǎn)350納米工藝芯片

宜興中車時代中低壓功率器件項目首臺光刻機搬入

ASML High-NA EUV光刻機取得突破，成功印刷10nm線寬圖案

國內(nèi)首臺大芯片先進封裝專用光刻機交付入廠

中荷雙方重點就光刻機輸華和加強半導體產(chǎn)業(yè)合作等議題深入交換意見

ASML 首臺新款 EUV 光刻機 Twinscan NXE:3800E 完成安裝

盛美上海：光刻機的購入選擇,KrF-line是首要目標

ASML：多款光刻機2024年將不會獲得對華出口許可

美國施壓要求荷蘭停止向中國出口某型號光刻機外交部回應(yīng)

全球半導體設(shè)備五強醞釀大變局

盛美上海：Track設(shè)備預計在明年年中有望完成與光刻機的對接工藝測試

俄羅斯明年開始生產(chǎn)光刻機！

ASML在中國的光刻機加上量測的機臺近1400臺！

中信證券：國產(chǎn)高端光刻機的發(fā)展有望獲得推動，光刻機及半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈將有望同步受益

清溢光電；佛山生產(chǎn)基地項目將適時考慮引入電子束光刻機

俄羅斯開發(fā)出可替代光刻機的芯片制造設(shè)備

中國半導體進口創(chuàng)新高！狂買荷蘭光刻機

清溢光電上半年光刻機入場擬15億擴產(chǎn)半導體掩模版

日本與荷蘭簽署半導體合作備忘錄，采購ASML光刻機推進2nm工藝

東南大學微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心電子束光刻機采購招標公告（第三次）

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