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上海積塔半導
體取得晶圓承載裝置及應(yīng)用其的半導體工藝設(shè)備專利,避免晶圓拿取時破碎
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2025-02-05 10:10
上海積塔半導
體申請檢測晶圓位置的專利,能夠確保后續(xù)晶圓環(huán)切等工藝順利進行
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2024-12-19 17:36
上海積塔半導
體申請?zhí)蓟杈w管結(jié)構(gòu)及其制備方法專利,有效降低器件VFSD
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2024-12-19 14:48
上海積塔半導
體申請半導體結(jié)構(gòu)相關(guān)專利,避免因相鄰膜層刻蝕選擇比過大形成底切結(jié)構(gòu)
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2024-09-11 14:14
上海積塔半導
體已完成135億元融資
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2023-09-04 09:21
上海積塔半導
體汽車芯片生產(chǎn)線項目獲銀團104億元貸款
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2023-01-29 10:58
上海積塔半導
體首臺ASML 12吋光刻機正式進場
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2020-12-29 11:24
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