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山東發(fā)布新材料產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新行動計劃，第三代半導(dǎo)體材料、光刻膠等被劃重點(diǎn)

中芯微取得半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用光刻機(jī)專利，可實(shí)現(xiàn)移動目的

大族安萊微米級光刻機(jī)項目開工

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中芯國際申請光刻機(jī)焦距監(jiān)控相關(guān)專利，實(shí)現(xiàn)在線焦距監(jiān)控且對產(chǎn)品晶圓圖形影響小

尼康官宣旗下首款半導(dǎo)體后端工藝用光刻機(jī)

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